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東京精密（Accretech） 表面粗糙度輪廓形狀測(cè)量?jī)x
這是一款高精度技術(shù)的新型混合檢測(cè)器，同過(guò)去的檢測(cè)器不同，將大范圍內(nèi)精度穩(wěn)定的線性光柵尺和小范圍內(nèi)高分辨率的差動(dòng)電感混合一體。 這兩種不同的傳感器在測(cè)量時(shí)同時(shí)感應(yīng)，zui大限度地發(fā)揮傳感器的潛能。
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